一句话解释MEMS传感器
那就是把传统的传感器封装到芯片里面，方便批量化生产和高度集成化
科学的来讲，微机电系统（Micro-ElectroMechanicalSystem）是指尺寸在几毫米乃至更小的传感器装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。简单理解，MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔TSV等技术把器件固定在硅晶元（wafer）上，最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的硅基传感器。受益于普通传感器无法企及的IC硅片加工批量化生产带来的成本优势，MEMS同时又具备普通传感器无法具备的微型化和高集成度。
MEMS传感器特点
MEMS是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。
用MEMS工艺制造的传感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生产等特点。同时，MEMS传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号;而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此形象地被称为智能传感器。
1980年，第一个MEMS传感器推出，重量、湿度、加速度计、压力、麦克风等MEMS传感器不断出现，其种类繁多，一般分为MEMS物理传感器、化学传感器、生物传感器三大类。(相关阅读可以查看YXC扬兴官网《MEMS应用领域》)
MEMS传感器优点
因为传统的基于机电工艺制成的传感器和执行器在体积、价格和产能上不能适应工业、消费电子等领域的需求，MEMS开始发展起来。
与传统的传感器相比，MEMS传感器在尺寸、性能、智能化等方面都具有明显的优势。例如，在陀螺仪及麦克风方面，MEMS技术的应用为之技术升级带来较大跨越。
比较1：陀螺仪。传统的光纤陀螺仪，体积虽然越来越小，但对于放入一些电子产品而言是不可能完成的。而且为了保证性能，这样一个陀螺仪的产量之低和价格之高也是可想而知。
而我们现在智能手机上采用的陀螺仪则是MEMS陀螺仪，例如上图。其体积小、功耗低、易于数字化和智能化，特别是成本低，易于批量生产，非常适合手机、汽车牵引控制系统、医疗器材这些需要大规模生产的设备。
比较2：麦克风。传统麦克风的七八种机械配件可全部集成在一块很小的MEMS传感器芯片上。由上图可见，MEMS麦克风置于手机中，体积非常小，重量也比较轻。
由于是芯片制造，一致性好、功耗低，更易于批量生产。MEMS传感器的出现满足特定产品小体积、高性能的要求。
MEMS传感器分类图
是不是觉得有很多？其实应该还有相当多，只要有需求，我们就会想方设法将传感器集成在芯片内，这是科学的发展进步，也是必然
